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【東莞LDE】澳大利亞BluGlass與愛思強合作,整合并評估RPCVD技術

文章出處:新聞中心 責任編輯:東莞市萬興智能科技有限公司 發表時間:2019-01-04
      據外媒報道,澳大利亞BluGlass公司正在與德國的沉積設備制造商Aixtron (愛思強)合作,以評估BluGlass的RPCVD(遠程等離子體化學氣相沉積)技術。

BluGlass選擇了Aixtron的系統,將RPCVD擴展到批量生產的能力,首次集成將在BluGlass的悉尼Silverwater工廠進行。據悉,BluGlass的RPCVD技術可實現III-V氮化物材料的低溫沉積,從而有可能提高器件的性能。

BluGlass的總經理Giles Bourne表示,“我們非常高興獲得愛思強對我們這一重大擴展項目的支持”,“這是展示RPCVD批量生產可行性的重要一步”。

愛思強集團創新官Ken Teo博士說,“在愛思強,我們一直在努力將新技術引入我們的平臺”,“我們希望探索RPCVD技術在氮化物層低溫沉積方面的潛力,這可能為光電/電子設備開辟新的可能性;我們期待與BluGlass合作,整合RPCVD并評估該技術?!?br />
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